As semiconductori les tecnologies microelectròniques es desenvolupen cap a un rendiment més alt i una major integració, i s'imposen requisits més alts a la puresa dels gasos especials electrònics. La tecnologia de canonades de gas d'alta puresa és una part important del sistema de subministrament de gas d'alta puresa. És la tecnologia clau per subministrar gasos d'alta puresa que compleixin els requisits als punts d'ús del gas, mantenint alhora una qualitat qualificada.
La tecnologia de canonades d'alta puresa inclou el disseny correcte del sistema, la selecció d'accessoris per a canonades i materials auxiliars, la construcció, la instal·lació i les proves.
01 Concepte general de canonades de transmissió de gas
Tots els gasos d'alta puresa i neteja s'han de transportar fins al punt terminal de gas a través de canonades. Per tal de complir els requisits de qualitat del procés per al gas, quan l'índex d'exportació de gas és cert, cal prestar més atenció a la selecció del material i la qualitat de construcció del sistema de canonades. A més de la precisió de l'equip de producció o purificació de gas, aquesta es veu afectada en gran mesura per molts factors del sistema de canonades. Per tant, la selecció de les canonades ha de complir els principis pertinents de la indústria de purificació i marcar el material de les canonades als dibuixos.
02 La importància dels gasoductes d'alta puresa en el transport de gas
La importància de les canonades d'alta puresa en el transport de gas d'alta puresa Durant el procés de fosa d'acer inoxidable, cada tona pot absorbir uns 200 g de gas. Després del processament de l'acer inoxidable, no només s'enganxen diversos contaminants a la seva superfície, sinó que també s'absorbeix una certa quantitat de gas a la seva xarxa metàl·lica. Quan hi ha un flux d'aire que passa per la canonada, la part del gas absorbida pel metall tornarà a entrar al flux d'aire i contaminarà el gas pur.
Quan el flux d'aire a la canonada és discontinu, la canonada forma una adsorció de pressió sobre el gas que hi passa. Quan el flux d'aire deixa de passar, el gas adsorbit per la canonada forma una anàlisi de reducció de pressió i el gas analitzat també entra al gas pur de la canonada com a impuresa.
Al mateix temps, el cicle d'adsorció i anàlisi farà que el metall de la superfície interior de la canonada produeixi una certa quantitat de pols. Aquesta partícula de pols metàl·lica també contamina el gas pur de la canonada. Aquesta característica de la canonada és molt important. Per garantir la puresa del gas transportat, no només cal que la superfície interior de la canonada tingui una suavitat extremadament alta, sinó que també tingui una alta resistència al desgast.
Quan el gas té fortes propietats corrosives, s'han d'utilitzar canonades d'acer inoxidable resistents a la corrosió. En cas contrari, apareixeran taques de corrosió a la superfície interior de la canonada a causa de la corrosió. En casos greus, grans peces de metall es desprendran o fins i tot es perforaran, contaminant així el gas pur que es transporta.
03 Material de canonada
La selecció del material de la canonada s'ha de fer segons les necessitats d'ús. La qualitat de la canonada es mesura generalment segons la rugositat de la superfície interior. Com menor sigui la rugositat, menys probable és que porti partícules. Generalment es divideix en tres tipus:
Un ésTub de grau EP 316L, que ha estat polit electrolíticament (electropoliment). És resistent a la corrosió i té una baixa rugositat superficial. Rmax (alçada màxima de pic a vall) és d'uns 0,3 μm o menys. Té la major planitud i no és fàcil formar corrents micro-eddy. Elimineu les partícules contaminades. El gas de reacció utilitzat en el procés s'ha de canalitzar a aquest nivell.
Un és unGrau BA 316Lcanonada, que ha estat tractada per Bright Anneal i que sovint s'utilitza per a gasos que estan en contacte amb l'encenall però que no participen en la reacció del procés, com ara GN2 i CDA. Una és la canonada AP (recuit i picat), que no rep un tractament especial i generalment s'utilitza per a conjunts dobles de canonades exteriors que no s'utilitzen com a línies de subministrament de gas.
04 Construcció de canonades
El processament de la boca de la canonada és un dels punts clau d'aquesta tecnologia de construcció. El tall i la prefabricació de la canonada es duen a terme en un entorn net i, alhora, s'assegura que no hi hagi marques ni danys nocius a la superfície de la canonada abans del tall. Els preparatius per al rentat amb nitrogen a la canonada s'han de fer abans d'obrir la canonada. En principi, la soldadura s'utilitza per connectar les canonades de transmissió i distribució de gas d'alta puresa i alta neteja amb un gran cabal, però no es permet la soldadura directa. S'han d'utilitzar unions de carcassa i cal que el material de la canonada utilitzat no tingui cap canvi d'estructura durant la soldadura. Si es solda el material amb un contingut de carboni massa alt, la permeabilitat a l'aire de la peça de soldadura farà que el gas de l'interior i de l'exterior de la canonada penetri mútuament, destruint la puresa, la sequedat i la neteja del gas de transport, cosa que comportarà conseqüències greus i afectarà la qualitat de la producció.
En resum, per a gasoductes d'alta puresa i gasoductes especials de transmissió de gas, s'ha d'utilitzar un tub d'acer inoxidable d'alta puresa tractat especialment, cosa que fa que el sistema de canonades d'alta puresa (incloses les canonades, els accessoris de canonades, les vàlvules, els VMB i els VMP) ocupi una missió vital en la distribució de gas d'alta puresa.
Data de publicació: 26 de novembre de 2024