As semiconductori les tecnologies microelectròniques es desenvolupen cap a un major rendiment i una major integració, s'imposen requisits més alts sobre la puresa dels gasos especials electrònics. La tecnologia de canonades de gas d'alta puresa és una part important del sistema de subministrament de gas d'alta puresa. És la tecnologia clau per lliurar gasos d'alta puresa que compleixen els requisits als punts d'ús del gas tot mantenint una qualitat qualificada.
La tecnologia de canonades d'alta puresa inclou el disseny correcte del sistema, la selecció de accessoris de canonada i materials auxiliars, construcció i instal·lació i proves.
01 Concepte general de canonada de transport de gas
Tots els gasos d'alta puresa i alta neteja s'han de transportar al punt de gas terminal a través de canonades. Per complir amb els requisits de qualitat del procés per al gas, quan l'índex d'exportació de gas és cert, és més necessari parar atenció a la selecció del material i la qualitat de construcció del sistema de canonades. A més de la precisió de l'equip de producció o purificació de gas, es veu afectat en gran mesura per molts factors del sistema de canonades. Per tant, la selecció de canonades ha de complir els principis rellevants de la indústria de la purificació i marcar el material de les canonades als dibuixos.
02 La importància de les canonades d'alta puresa en el transport de gas
La importància de les canonades d'alta puresa en el transport de gas d'alta puresa Durant el procés de fosa d'acer inoxidable, cada tona pot absorbir uns 200 g de gas. Després de processar l'acer inoxidable, no només s'enganxen diversos contaminants a la seva superfície, sinó que també s'absorbeix una certa quantitat de gas a la seva xarxa metàl·lica. Quan hi ha flux d'aire que passa per la canonada, la part del gas absorbida pel metall tornarà a entrar al flux d'aire i contaminarà el gas pur.
Quan el flux d'aire a la canonada és discontinu, la canonada forma una adsorció de pressió sobre el gas que hi passa. Quan el flux d'aire deixa de passar, el gas adsorbit per la canonada forma una anàlisi de reducció de pressió i el gas analitzat també entra al gas pur a la canonada com a impuresa.
Al mateix temps, el cicle d'adsorció i anàlisi farà que el metall de la superfície interior de la canonada produeixi una certa quantitat de pols. Aquesta partícula de pols metàl·lica també contamina el gas pur de la canonada. Aquesta característica de la canonada és molt important. Per garantir la puresa del gas transportat, no només cal que la superfície interior de la canonada tingui una suavitat extremadament alta, sinó que també tingui una alta resistència al desgast.
Quan el gas té propietats corrosives fortes, s'han d'utilitzar tubs d'acer inoxidable resistents a la corrosió per a les canonades. En cas contrari, apareixeran taques de corrosió a la superfície interior de la canonada a causa de la corrosió. En casos greus, grans peces de metall es desprenen o fins i tot es perforaran, contaminant així el gas pur que es transporta.
03 Material de la canonada
La selecció del material de la canonada s'ha de seleccionar segons les necessitats d'ús. La qualitat de la canonada es mesura generalment segons la rugositat de la superfície interior de la canonada. Com més baixa sigui la rugositat, menys probabilitats hi haurà de transportar partícules. Generalment es divideix en tres tipus:
Un ésTub de grau EP 316L, que ha estat polit electrolíticament (Electro-Polish). És resistent a la corrosió i té poca rugositat superficial. Rmax (altura màxima del pic a la vall) és d'uns 0,3 μm o menys. Té la planitud més alta i no és fàcil formar microcorrents de Foucault. Elimina les partícules contaminades. El gas de reacció utilitzat en el procés s'ha de canalitzar a aquest nivell.
Un és unGrau BA 316Ltub, que ha estat tractat per Bright Anneal i s'utilitza sovint per a gasos que estan en contacte amb el xip però que no participen en la reacció del procés, com ara GN2 i CDA. Una és la canonada AP (Annealing & Picking), que no té un tractament especial i s'utilitza generalment per a conjunts dobles de canonades exteriors que no s'utilitzen com a línies de subministrament de gas.
04 Construcció de canonades
El processament de la boca del tub és un dels punts clau d'aquesta tecnologia de construcció. El tall i la prefabricació de la canonada es duen a terme en un entorn net i, al mateix temps, s'assegura que no hi hagi marques o danys perjudicials a la superfície de la canonada abans de tallar. Abans d'obrir la canonada, s'han de fer els preparatius per a la neteja de nitrogen a la canonada. En principi, la soldadura s'utilitza per connectar les canonades de transmissió i distribució de gas d'alta puresa i alta neteja amb un gran cabal, però no es permet la soldadura directa. S'han d'utilitzar juntes de carcassa i el material de canonada utilitzat no ha de tenir cap canvi d'estructura durant la soldadura. Si es solda el material amb un contingut massa elevat de carboni, la permeabilitat a l'aire de la part de soldadura farà que el gas dins i fora de la canonada penetri entre si, destruint la puresa, la sequedat i la neteja del gas de transport, la qual cosa comportarà greus conseqüències. i afectar la qualitat de la producció.
En resum, per a les canonades de gas d'alta puresa i de transmissió de gas especial, s'ha d'utilitzar una canonada d'acer inoxidable d'alta puresa especialment tractada, que fa que el sistema de canonades d'alta puresa (incloent canonades, accessoris de canonada, vàlvules, VMB, VMP) ocupi un missió vital en la distribució de gas d'alta puresa.
Hora de publicació: 26-nov-2024