1. Definició del sistema de gas a granel:
Emmagatzematge i control de pressió de gasos inerts Tipus de gasos: Gasos inerts típics (nitrogen, argó, aire comprimit, etc.)
Mida de la canonada: des d'1/4 (conducte de control) fins a la canonada principal de 12 polzades
Els principals productes del sistema són: vàlvula de diafragma/vàlvula de manxa/vàlvula de bola, connector d'alta puresa (VCR, forma de soldadura), connector de virola, vàlvula reguladora de pressió, manòmetre, etc.
Actualment, el nou sistema també inclou un sistema de gas especial a granel, que utilitza bombones de gas fixes o camions cisterna per a l'emmagatzematge i el transport.
2. Definició del sistema de purificació:
Eliminació d'impureses dels gasos a granel per a gasoductes d'alta puresa
3. Armaris de gas Definició:
Proporcioneu control de pressió i control de flux per a fonts de gas especials (gasos tòxics, inflamables, reactius, corrosius) i tenen la capacitat de substituir les bombones de gas.
Ubicació: Situat a la planta subfabricada o planta baixa per a l'emmagatzematge de gasos especials Font: NF3, SF6, WF6, etc.
Mida de la canonada: canonada de gas interna, generalment 1/4 de polzada per a la canonada de procés, 1/4-3/8 de polzada principalment per a la canonada de purga de nitrogen d'alta puresa.
Productes principals: vàlvules de diafragma d'alta puresa, vàlvules de retenció, manòmetres, manòmetres, connectors d'alta puresa (VCR, forma de soldadura) Aquests armaris de gas contenen bàsicament capacitats de commutació automàtica per a cilindres per garantir el subministrament continu de gas i la substitució segura dels cilindres.
4. Definició de distribució:
Connexió de la font de gas a la bobina de recollida de gas
Mida de la línia: a la fàbrica de xips, la mida de la canonada de distribució de gas a granel oscil·la generalment entre 1/2 polzada i 2 polzades.
Forma de connexió: les canonades de gas especials generalment es connecten mitjançant soldadura, sense cap connexió mecànica ni altres peces mòbils, principalment perquè la connexió de soldadura té una gran fiabilitat de segellat.
En una fàbrica de xips, hi ha centenars de quilòmetres de tubs connectats per transmetre gas, bàsicament d'uns 20 peus de llarg i soldats entre si. Alguns corbes de tubs i connexions de soldadura tubulars també són molt habituals.
5. Caixa de vàlvules multifunció (Valve Manifold Box, VMB) Definició:
Es tracta de distribuir gasos especials des de la font de gas a diferents extrems dels equips.
Mida interna de la canonada: canonada de procés d'1/4 de polzada i canonada de purga d'1/4 a 3/8 de polzada. El sistema pot utilitzar el control per ordinador per requerir vàlvules accionades o situacions de menor cost amb vàlvules manuals.
Productes del sistema: vàlvules de diafragma d'alta puresa/vàlvules de manxa, vàlvules de retenció, juntes d'alta puresa (VCR, forma de microsoldadura), vàlvules reguladores de pressió, manòmetres i manòmetres, etc. - S'utilitza principalment VMP (disc de vàlvula multifunció), que té una superfície de disc de gas obert i no requereix un disseny d'espai tancat i una purga addicional de nitrogen.
6. Placa/caixa de vàlvules secundàries (Tauler de connexió d'eines) Definició:
Connecteu el gas requerit per l'equip semiconductor des de la font de gas fins a l'extrem de l'equip i proporcioneu la regulació de pressió corresponent. Aquest panell és un sistema de control de gas que està més a prop de l'extrem de l'equip que el VMB (caixa de vàlvules multifunció).
Mida del gasoducte: 1/4 - 3/8 de polzada
Mida de la canonada de líquid: 1/2 - 1 polzada
Mida de la canonada de descàrrega: 1/2 - 1 polzada
Productes principals: vàlvula de diafragma / vàlvula de manxa, vàlvula unidireccional, vàlvula reguladora de pressió, manòmetre, manòmetre, junta d'alta puresa (VCR, microsoldadura), junta de virola, vàlvula de bola, mànega, etc.
Hora de publicació: 22-nov-2024