1. Definició del sistema de gas a granel:
Emmagatzematge i control de pressió de gasos inerts Tipus de gas: Gasos inerts típics (nitrogen, argó, aire comprimit, etc.)
Mida de la canonada: des de 1/4 (canonada de monitorització) fins a la canonada principal de 12 polzades
Els principals productes del sistema són: vàlvula de diafragma/vàlvula de manxa/vàlvula de bola, connector d'alta puresa (VCR, forma de soldadura), connector de ferrule, vàlvula reguladora de pressió, manòmetre, etc.
Actualment, el nou sistema també inclou un sistema de gas especial a granel, que utilitza cilindres de gas fixos o camions cisterna per a l'emmagatzematge i el transport.
2. Definició del sistema de purificació:
Eliminació d'impureses de gasos a granel per a gasoductes d'alta puresa
3. Definició d'armaris de gas:
Proporcionen control de pressió i monitorització de cabal per a fonts de gas especials (gasos tòxics, inflamables, reactius i corrosius) i tenen la capacitat de substituir cilindres de gas.
Ubicació: Situat a la planta de la subfàbrica o a la planta inferior per a l'emmagatzematge de gasos especials. Font: NF3, SF6, WF6, etc.
Mida de la canonada: canonada de gas interna, generalment de 1/4 de polzada per a la canonada de procés, d'1/4 a 3/8 de polzada principalment per a la canonada de purga de nitrogen d'alta puresa.
Productes principals: Vàlvules de diafragma d'alta puresa, vàlvules de retenció, manòmetres, connectors d'alta puresa (VCR, forma de soldadura). Aquests armaris de gas bàsicament contenen capacitats de commutació automàtica per a cilindres per garantir un subministrament continu de gas i una substitució segura dels cilindres.
4. Definició de distribució:
Connexió de la font de gas a la bobina de recollida de gas
Mida de la línia: A la fàbrica de xips, la mida de la canonada de distribució de gas a granel generalment oscil·la entre 1/2 polzada i 2 polzades.
Forma de connexió: els gasoductes especials generalment es connecten mitjançant soldadura, sense cap connexió mecànica ni altres peces mòbils, principalment perquè la connexió de soldadura té una forta fiabilitat de segellat.
En una fàbrica de xips, hi ha centenars de quilòmetres de tubs connectats per transmetre gas, que bàsicament fan uns 6 metres de llarg i estan soldats entre si. També són molt habituals alguns corbs de tubs i connexions de soldadura tubular.
5. Caixa de vàlvules multifunció (Caixa de col·lector de vàlvules, VMB) Definició:
Es tracta de distribuir gasos especials des de la font de gas fins a diferents extrems d'equips.
Mida interna de la canonada: canonada de procés de 1/4 de polzada i canonada de purga d'1/4 a 3/8 de polzada. El sistema pot utilitzar control per ordinador per requerir vàlvules accionades o situacions de menor cost amb vàlvules manuals.
Productes del sistema: vàlvules de diafragma/vàlvules de manxa d'alta puresa, vàlvules de retenció, juntes d'alta puresa (VCR, forma de microsoldadura), vàlvules reguladores de pressió, manòmetres i manòmetres, etc. Per a la distribució d'alguns gasos inerts, s'utilitza principalment el panell de col·lector de vàlvules - VMP (disc de vàlvula multifunció), que té una superfície de disc de gas oberta i no requereix un disseny d'espai tancat ni una purga de nitrogen addicional.
6. Placa/caixa de vàlvula secundària (panell de connexió d'eines) Definició:
Connecteu el gas que necessita l'equip semiconductor des de la font de gas fins a l'extrem de l'equip i proporcioneu la regulació de pressió corresponent. Aquest panell és un sistema de control de gas que està més a prop de l'extrem de l'equip que el VMB (caixa de vàlvules multifunció).
Mida del gasoducte: 1/4 - 3/8 de polzada
Mida de la canonada de líquid: 1/2 - 1 polzada
Mida de la canonada de descàrrega: 1/2 - 1 polzada
Principals productes: vàlvula de diafragma/vàlvula de manxa, vàlvula unidireccional, vàlvula reguladora de pressió, manòmetre, manòmetre, junta d'alta puresa (VCR, microsoldadura), junta de ferrule, vàlvula de bola, mànega, etc.
Data de publicació: 22 de novembre de 2024